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原厂:NOVASEN
原厂国别:Korea
应用产业:半导体&面板&光电
自动控压蝶阀用于真空系统以控制气体流量。 主要功能是调节制程气体流量并保持所需的真空度。
该阀门以一个围绕中心轴旋转的蝶形圆盘,可透过微电脑控制开幅或关闭气流。
蝶阀重量轻、设计不占空间,可精确控制压力和流量,有助于确保产品和制程的品质和一致性。
呂佳展 Luke Lu
E-mail : luke_lu@niching.com.tw
TEL : 03-6116888 ext.62593